초음파진동자 특성에 미치는 파라메터 요소 - 공진주파수와 반공진 주파수

공진(Resonance)주파수와 반공진(Antiresonance)주파수

초음파 진동자는 전기에너지를 인가하여 물리적 진동을 일으키는 액츄에이터로 전기적 등가회로 모델링으로 전기적인 공진주파수가 결정된다. 또한 전기적 등가회로 모델링은 R, L, C로 구성되며 직렬공진(Series resonance [fs]) 및 병렬공진(Parallel resonance [fp]) 두 가지 상태가 존재하게 된다. 전기적 등가회로의 직렬공진주파수 fs는 공진주파수 fr과 같고, 병렬공진주파수 fp는 반공진주파수 fa와 같다.

진동자에서 공진주파수 fr과 반공진주파수 fa간의 범위 Δf = fa - fr 은 압전세라믹의 중요한 파라메터 전기기계결합계수 에 큰 영향을 준다.